Установка вакуумная, 2-ручка отжима /зажима сильфона уплотнения,

3- транспортное устройство, 4- шкаф управления в автоматическом режиме,

5-аварийный выключатель питания,6-вакууметр шлюза выгрузки ,7-выключатель шкафа управления,8-выключатель вакууметра ВМБ-14,9- выключатель форвакуумного насоса,10-выключатель крионасоса,11-вакууметр щлюза загрузки, 12-выключатель шкафа питания,13-выключатель ИК-нагрева,

14- выключатели магнетронов,15-шкаф питания,16-вакууметр рабочей камеры,

17-вакууметр магистрали крионасоса,18-блоки управления магнетронами,19-блок управления конвейером, 20-шкаф управления в ручном режиме,21-блок управления вакуумной системой, 22-блок управления ИК-нагревом,23-блок управленя Орион-4 и дисплей, 24-натекатель, 25-шлюзовая камера, 26-рабочая камера, 27- вакууметр для контроля давления в рабочей камере,28-магнетроны,29-блок управления шлюзами.

Рабочая камера 26 (Рис.10.7) имеет три зоны: ионной очистки пластин1, нагрева их кварцевой лампой 2 и распыления металла и осаждения металлических пленок 3. Зоны сообща­ются через щелевые каналы, но в них поддерживается разное давление. Транспортная система состоит из конвейера10 и резиновых пассиков11 и работает по принципу-“из кассеты в кассету”.В верхней части рабочей камеры имеется крышка 4 для обеспечения доступа к внутренним элементам: ВЧ- устройству 5, натекателю 8,датчику7 и магнетронам 6 для их обслуживания, ремонта и периодической очистки ,на крышке имеются ручные отжимы 2 металлической диафрагмы.

Рис.10.8Рабочая камера установки.

1-Зона предварительной ионной очистки,2-зона нагрева подложек, 3-зона напыления, 4-подьемная крышка, 5-ВЧ-устройство, 6-магнатроны, 7-датчик давления, 8-натекатель, 9-нагреватель(кварцевая лампа), 10-конвейер, 11-резиновые пассики.

При работе установки по мере разгрузки и загрузки кассеты с по­лупроводниковыми пластинами перемещаются конвейером вертикально. Конвейер 10 выполнен в виде двух замкнутых проволочных цепочек, при­водимых в движение одним приводом. На цепочках имеются штыри, фиксирующие положение полупроводниковых пластин при обработке. При изменении своего положения штыри воздействуют на датчик, который подает сигнал на очередную загрузку пластин на конвейер.

На верхней съемной крышке рабочей камеры размещены магнетроны. Магнетроны бывают мульти катодные (Рис.10.9) и планарные (Рис.10.10).В каждом водоохлаждаемом7 катоде магнетрона закреплена мишень10, имеющая значительную массу, что способствует ее длительной работе без замены. Магнетроны получают питание от индивидуальных источников с отрицательной обратной связью по току разряда и устройством эффективного гашения дуговых разрядов высокого быстродействия через токораспределительный узел-коллектор 6.

Вакуумная система рабочей камеры представляет собой агрегат, состо­ящий из крионасоса , азотной ловушки и механического насоса ВНМ-18Г.

Управляет работой установки микропроцессор на базе блока управления 23 Орион-4, который позволяет задавать перепрограммируемые технологические режимы, стабилизирует и контролирует их, выполняет необходимые блокировки, считает обрабатываемые полупроводниковые пластины и выдает информацию о состоянии технологических параметров, а также устройств и механизмов установки на дисплей.

Рис.10.9Мульти катодный магнетрон.

1-стационарный корпус,2-магнетроый узел,3-съемное основание,4-вращающийся корпус,5-привод вращения,6-токораспределительный узел-коллектор,7-система прогрева и охлаждения ,8-защитный экран,9-магнитный блок,10-мишень,11- подложка.

Рис.10.10Планарный магнетрон.

Устройство и порядок работы отдельных узлов.

Затвор шиберного типа с резиновым уплотнителем.

Рис.10.11Затвор шиберного типа с резиновым уплотнителем.

1-серьга,2-шарниры,3-крышка,4-ролики,5-ведущее звено,6-корпус затвора,7-уплотнительная прокладка,8-пружина,9-отверстие,10-уплотнительный диск,11-упор.

Назначение.

Затвор (10.11) в вакуумных системах предназначен для отделения рабочей камеры при загрузке- разгрузке подложек от высоковакуумной линии без отключения насосов.

Поступательное перемещение ведущего звена 5 передаётся крышке 3 с роликами 4, к которой через серьгу 1 на шарнирах 2 и пружинах 8 подвешен уплотнительный диск 10 с прокладкой 7. Перемещение диска 10 вдоль оси ведущего звена 5 ограничивается упором 11. В следствии этого серьга 1, поворачиваясь, перемещает уплотнительный диск 10 поступая вдоль оси проходных отверстий 9, уплотняя их прокладкой 7. Пружины 8 служат для образования гарантированного зазора между прокладкой 7 и основанием корпуса.

Ловушки.

Рис.10.12Низко температурная двухрядная ловушка жалюзного типа.

1 - первый ряд экранов, охлаждаемых водой и снижающих кинетическую энергию рабочего тела ВМ-1, 2 – корпус, 3 - 2-ой ряд экранов, охлаждаемых жидким азотом с Т=-96º С и не допускающих попаданий паров масла ВМ-1 в рабочую камеру, 4 - корпус камеры, 5 - корпус диффузионного насоса.

Ловушки (Рис.10.12) по диапазону давлений бывают: высоковакуумные и форвакуумные. По принципу действия: механические, низкотемпературные, адсорбционные, термические, электрические. Характеристика ловушек-защитная способность и удельная проводимость. Для пароструйных насосов используется низкотемпературные ловушки (-96 ºС).

Датчики.

Рис.10.13Датчики на основе кварцевого кристаллического резонатора.

1,7-держатели, 2 – электрод, 3 – пружина, 4 - трубки для охлаждения датчика, 5-экран,6- пластина с плёнкой Аu или Ag квадрат.

Датчики (Рис.10.13) на основе кварцевого кристаллического резонатора предназначены:

-для контроля потока осаждаемых частиц

-измерения массы осаждаемого вещества

-характерных параметров плёнок

Существуют два метода измерения плотности потока испаряемого вещества:

-основан на ионизации молекул пара электронами и регистрации ионного тока

-основан на измерении динамической силы, с которой сталкивающиеся с поверхностью молекулы воздействуют на неё.

Обоими методами измеряется скорость осаждения в данный момент времени.

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском по сайту: