Устройство и порядок работы комплекса.

Комплекс представляет собой набор технологических модулей ,осуществляющих различные виды фотолитографической обработки, размещенных в контролируемой воздушной среде и объединенных единым транспортным устройством в виде специализированного робота с 6-ю степенями свободы 7 для перемещения пластин от модуля к модулю. На комплексе производятся следующие технологические операции:

термообработка (модуль 6), обработка в парах ГМДС (модуль 5) ,охлаждение, нанесение слоя фоторезиста (модуль 2), нанесение антиотражающего покрытия(модуль 4) ,проявления фоторезиста(модуль 3).

Система управления комплексом выполнена по двухуровневой распределенной архитектуре. На нижнем уровне расположены блоки управления технологическими модулями ,включающими в свой состав: контроллеры, датчики и исполнительные механизмы модулей. На верхнем уровне ЭВМ типа IBM PC. Устройство и порядок работы отдельных узлов.

Модуль нанесения фоторезиста.

Состав модуля нанесения фоторезиста (Рис.12.13):каркас модуля 5, основание

4, блок управления модулем 8,дозатор 1,6, регулятор давления 7,манометр 2,система вытяжной вентиляции3.

В основе работы модуля лежит принцип нанесения дозируемого количества фоторезиста на вращающуюся пластину.

Рис.12.13Модуль нанесения фоторезиста. Вид спереди.

1,6- дозатор,2- манометр, 3-система вытяжной вентиляции, 4-основание, 5-каркас модуля,7-регулятор давления, 8-блок управления модулем.

В состав модуля входит такой важный узел как центрифуга7 ,которая расположена на плите 3(Рис.12.14) основания 4.На основании находится привод инструмента 5, испаритель 2, ванна 4, воздуховод 6 и столик 1(Рис.12.14).

Рис. 12.14 Основание модуля нанесения фоторезиста.

1-столик,2-испаритель,3-плита,4-ванна,5- привод инструмента,6-воздуховод,7-центрифуга.

Рис.12.15Центрифуга.

1-цилиндр,2-манжет,3-электродвигатель,4

манжет,5-цилиндр,6-пневмоцилиндр.

Центрифуга представляет собой цилиндр 5, электродвигатель 3, закрепленный в цилиндре 1 и пневмоцилиндр 6. Пневмоцилиндр предназначен для подъема и опускания электродвигателя, на валу которого закреплен столик 1 (Рис.12.14), который удерживает вращающийся объект в процессе обработки с помощью вакуума. Подача вакуума осуществляется через полый вал электродвигателя. Верхнее и нижнее положение контролируется датчиками, закреплёнными на пневмоцилиндре. Уплотнение при перемещении цилиндра с электродвигателем осуществляется с помощью манжет 2,4.

Блок управления модулем нанесения состоит из следующих основных элементов: блока клапанов, блока управления двигателем центрифуги, электромагнитного пускателя, автоматического выключателя, управляющего микроконтроллера SIEMENS CPU-224, модуля расширения дискретных входов/выходов SIEMENS EM-223, модуля ведомого устройства SIEMENS EM 277, блока питания электроприводаSIEMENS SITOP40, блока питания КL 220A24S-CL фирмы Александр Электрик. На задней стороне блока управления размещаются электрические разъемы для выполнения необходимых соединений.

Включение блока управления осуществляется автоматическим выключателем через электромагнитный пускатель .Блок клапанов предназначен для управления исполнительными механизмами модуля ,на клапана подаются сигналы управления с микроконтроллера и модуля расширения в зависимости от сигналов датчиков, размещенных на конечных положениях механизмов. Также с микроконтроллера поступают управляющие сигналы на приводы управления инструментом и вытяжкой. Для питания микроконтроллера и датчиков служит источник питания микроконтроллера и датчиков .С помощью модуля микроконтроллер подключен к ЭВМ верхнего уровня. Для управления скоростными характеристиками электродвигателя центрифуги используется блок управления ,на который поступают следующие сигналы: эталонная частота задания с микроконтроллера, фактическая частота вращения с электронного таходатчика. Для питания электродвигателя центрифуги используется отдельный блок питания

Модуль проявления фоторезиста.

Состав модуля проявления фоторезиста(Рис.12.16):каркас модуля 4, основание

3,система управления модулем 7,дозатор 5, регулятор давления 6,манометр 1,система вытяжной вентиляции2.

В основе работы модуля лежит принцип полива проявителем вращающейся пластиной, расположенной на центрифуге.

12.16Модуль проявления фоторезиста. Вид спереди.

1-манометр, 2-система вытяжной вентиляции,3-основание ,4-каркас,5-дозатор,6-регулятор давления,7-система управления модулем.

Рис.12.17 Основание модуля проявления фоторезиста.

1-столик,2,4-ванна ,3-основание,5-привод инструмента,6-воздуховод,7-центрифуга.

Рис.12.18Дозатор.

1,3-крышка,2-мембрана,4-крышка

Блок управления модулем проявления состоит из следующих основных элементов: блока клапанов (1), блока управления двигателем центрифуги (2), электромагнитного пускателя (3), автоматического выключателя (4), управляющего микроконтроллера 81ЕМЕЫ8 СР11-224(5), модуля расширения дискретных входов/выходов 81ЕМЕМ8 ЕМ-223 (6), модуля ведомого устройства ЗШМЕИЗ ЕМ277 (7), блока питания электропривода 81ЕМЕМ8 81ТОР40 (8), блока питания КЬ 220А248-СЬ (9). На задней стороне блока управления размещаются электрические разъемы для выполнения необходимых соединений.

Принцип работы блока управления модулем проявления фоторезиста аналогичен работе блока управления модулем нанесения.

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском по сайту: