Сделай Сам Свою Работу на 5

Порядок функционирования систем.





Пластина 2 автоматически транспортируется из подающей кассеты на позицию предварительной ориентации, центрируется и ориентируется по кромке, передается манипулятором на индуктор координатной системы.

Фокусировка и выравнивание пластины происходит с помощью автономной фотоэлектрической системы. Система фокусировки 16 удерживает рабочую поверхность пластины в плоскости фокусировки, заданной относительно базовой плоскости установки, во время выполнения совмещения и экспонирования. Связь между плоскостью фокусировки и поверхностью наилучшего изображения ПФО осуществляет система анализа изображения (САИ).Автоподстройка с помощью привода вертикальных перемещений статора (Рис.11.20) и запуск системы фокусировки производится по центру полупроводниковой пластины, если запуск в центре невозможен, то делается попытка запуска в 9-ти узлах матрицы с шагом равным 30 мм по Х,У.

Установка использует принцип угловой ориентации ПФО относительно топологии полупроводниковой пластины. При мультипликации на пластине нулевого слоя, когда отсутствуют знаки совмещения, ПФО ориентируется относительно топологии знаков совмещения нанесенных на поверхность маски САИ. Положение ПФО относительно топологии пластины вычисляется по положению этих двух объектов относительно осей координатной системы установки.



Для определения положения ПФО используется информация двух разнесенных каналов датчика совмещения о координатах одного и того же знака совмещения, нанесенного на рабочей поверхности пластины (маски САИ -для нулевого слоя).

Для определения положения пластины используется информация одного из каналов датчика совмещения (Рис.11.21) о координатах двух знаков совмещения, расположенных на одной оси X и максимально разнесенных друг от друга.

После выбора знаков совмещения , используемых при ориентации указывается их координаты относительно центра пластины. Один из этих знаков будет использоваться для определения положения ПФО.

Затем для определения величины углового разворота ПФО, последний разворачивается и устанавливается вдоль топологии пластины. Для точной ориентации осей ПФО и пластины используется возможность разворота каретки координатного стола 1. После ориентации ПФО производится операция контроля масштаба изображения ПФО относительно топологии пластины.



Операция масштабирования и ориентации считается законченной , если значения масштаба и разворота ПФО меньше установленных пользователем допусков.

Затем производится совмещение в нескольких вариантах в зависимости от генетики партии пластин:

-глобальное совмещение по 2,4,9,16 и 25 знакам с соблюдением порядка расположения знаков;

-позонное;

-покадровое совмещение. Возможна покадровое выравнивание и фокусировка на каждом экспонируемом кадре и ввод коррекции на заклон статора для каждого кадра.

При экспонировании краевой зоны в месте ,где работа датчиков фокусировки и заклона (Рис.11.19а ) невозможна из-за неполного кадра, отработка фокуса происходит на основании информации, полученной на ближайшем, фокусируемом кадре. Заданная доза облучения фоторезиста в каждом модуле выдерживается системой экспонирования.

После окончания мультипликации отключается фокусировка, координатный стол1 перемещается в позицию разгрузки, пластина 2 убирается вакуумным захватом в приемную кассету.

Стол координатный (Рис.11.18)

Рис.11.18Схема стола координатного.

1-корпус 2,9-опора3,12-плита4-ось5-опора регулируемая6-датчик базы 7-статор8-каретка10-механизм базирования11-интерферометр13-фотоприемник,14,15-втулки

Система фокусировки.

а)датчик фокусировки

 

б)датчик выравнивания

1-диафрагма,2-коллектор,3-маска,4,5,8,9.10-линзы,6,7,11-зеркала,12-светофильтр.



Рис.11.19Датчик фокусировки и выравнивания.

1,2-плита,3-блок фотоэлектрический автоколлиматора,4-блок фотоэлектрический датчика автоматической фокусировки,5-формирователь,6-привод,7-блок зеркал,8-блок оптический,9,20,21,23-зеркало,10-линза склеенная,11-маска,12-коллектор,13-светодиод,14-формирователь,15-блок фотоэлектрический,16,22-линза цилиндрическая,17-зеркало полупрозрачное,18-пластина,19-диафрагма.

 

Рис.11.20Привод вертикальных перемещений статора.

1-рычаг.2-эксцентрик.3-редуктор.4-двигатель.5-датчик угла поворота.6-датчик положения.7-лепесток.8-шаровая передача.

Система совмещения.

Рис.11.21Оптическая схема датчика совмещения(правый канал).

1-дазер ЛГН,2,7,11,16-зеркало,3,4,9,14-линза,5-клин,6-блок склеенный,6а,6б-кристаллическая пластина,8-линза склеенная,10-призма склеенная,12-маска,13,15-пластина растровая,17-промежуточный шаблон,18-проекционный объектив,19-опертурная диафрагма,20-рабочая поверхность с знаком совмещения,21-фотоприемное устройство.

Блок загрузки(Рис.11.22).

Назначение.

Блок загрузки предназначен для выгрузки пластин из падающей кассеты, их центрирования и ориентации по базовому срезу, загрузки на вакуумный столик каретки координатного стола и разгрузки экспонированных пластин со столика каретки в приемную кассету.

а) манипулятор подающий

1-датчик.2-двигатель.3-датчик вакуума.4-крышка.5-индуктор.6-захват

б) механизм ориентации.

1-корпус,2-датчик вакуума,3-столик,4-двигатель,5,6-колеса зубчатые,7-каретка,8-эксцентрик,9-датчик,10-привод подъема,11-привод ориентации.

в) каретка приемная.

1-датчик,2-двигатель,3-датчик вакуума,4-индуктор,5-захват,6-каретка,7-корпус,8,11-напрвляющая,9-эксцентрик,10-ролик.

Рис.11.22Блок загрузки.

1,6,8-статор,2-манпулятор падающий,3-плита,4-механизм ориентации,5-датчик бокового среза,7-манипулятор приемный,9-механизм перемещения приемной кассеты,10-каретка приемная,11-панель коммутационная,12-панель пневматики,13-каретка подающая,14-механизм перемещения подающей кассеты.

 

Блок загрузки имеет возможность с помощью регулируемых опор быть выставленным по отношению к столику каретки стола координатного.

Манипулятор подающей 2 кассеты предназначен для выгрузки пластин из падающей кассеты и установки её на столик привода ориентации 4.

Манипулятор в своем составе имеет индуктор 5,на индукторе через крышку 4 установлен шаговый двигатель 2 ,на валу которого крепится захват 6.Конечное положение захвата определяется с помощью датчика 1.Для удержания пластины используется вакуум, наличие которого контролируется датчиком вакуума 3.Индуктор 5 и статор, установленный на плите БЗ, образуют ЛШД, что позволяет совершать манипулятору линейное перемещение.

Механизм ориентации4предназначен для определения децентровки пластины и ориентации её по базовому срезу.

Механизм ориентации состоит из корпуса 1, каретки 7, привода подъема 10 и привода ориентации. Привод ориентации предназначен для вращения столика 5,на котором установлена удерживаемая вакуумом пластина. Наличие пластины на столике контролируется датчиком вакуума 2.Вращение осуществляется шаговым двигателем 4 посредством зубчатых колес 5 и 6.

Состав системы анализа изображения:

-ПФО-cодержит специальные знаки (репера САИ), топология репера согласована с анализирующей маской датчика САИ;

-датчик САИ- анализатор изображения, формирует электрический сигнал, несущий информацию о взаимном положении в пространстве (Х,У, Z) маски, датчика САИ и изображения репера САИ;

-проекционная система-осветитель с системой дозирования энергии, проекционный объектив и предназначена для построения изображения репера САИ в плоскости фокусировки проекционного объектива;

-координатная система-обеспечивает цикл измерений в горизонтальной плоскости;

-система фокусировки-обеспечивает цикл измерений в вертикальной плоскости.

Для работы САИ в режиме определения координат изображения реперов САИ, рабочий ПФО должен содержать специальные знаки, конфигурация которых совпадает с конфигурацией репера САИ. Места расположения реперов САИ на рабочем ПФО заранее определены и зависят от желания и возможностей пользователя:

-по одному реперу (обязательное присутствие) САИ контролирует положение Плоскости фокусировки проекционного объектива по Z;

-по двум реперам, лежащим на одной прямой, установка может осуществить ориентацию ПФО, проверку масштаба изображения на рабочей длине волны проекционной системы, проверку соответствия показаний системы совмещения относительно САИ;

-по трем реперам, не лежащим на одной прямой, САИ может контролировать положение плоскости фокусировки объектива в пространстве (фокусировка и угловые заклоны);

-специальные тестовые шаблоны с большим количеством реперов могут применяться при анализе качества проекционного объектива.

САИ может работать в следующих режимах:

-контроль стабильности лампы проекционной системы (измерение уровня освещенности на краю поля в течении заданного времени);

-контроль неравномерности освещенности (измерение уровня освещенности в заданных точках рабочего поля);

-контроль работы системы дозирования энергии (контроль дозы энергии по заданному количеству экспозиций);

-контроль положения ПФО (измерение положения заданных реперов САИ в плоскости X и У;

-контроль положения плоскости фокусировки проекционного объектива (измерение положения заданных реперов САИ в пространстве относительно исходной плоскости Z);

-контроль параметров проекционного объектива (измерение положения заданных реперов САИ в пространстве относительно плоскости фокусировки).

Состав системы совмещения:

Датчик совмещения-формирует оптические сигналы, несущие информацию о взаимном положении знаков совмещения на рабочей поверхности и реперных знаков ПФО. Преобразует оптические сигналы в электрические аналоговые сигналы;

Объектив проекционный-формирует совместно с датчиком совмещения изображение знака совмещения в плоскости ПФО;

Блок промежуточного шаблона (БПШ)-содержит ПФО с реперными знаками. Производит ориентацию ПФО относительно координатной системы с помощью знаков совмещения, нанесенных на рабочую поверхность маски САИ, расположенной на координатном столе

Стол координатный-Содержит рабочую поверхность со знаками совмещения. Производит перемещение рабочей поверхности, отсчет текущего положения рабочей поверхности. На рабочем столе располагается маска САИ, которая выполнена из высокостабильного кварцевого стекла. Нанесенные на маску САИ знаки совмещения используются для контроля масштаба координатной системы, а так же в качестве опорного углового эталона для проверки перпендикулярности осей координатной системы.

 

Совмещение осуществляется путем:

-измерения координат знаков, ориентации на рабочей поверхности (п/п пластины или маски САИ), ориентации и масштабирования ПФО;

-измерения координат знаков совмещения на рабочей поверхности п/п пластины относительно реперных знаков ПФО и привязке их к интерферометрической системе координатного стола.

-размер минимального элемента-0,8 мкм,

-глубину резкости минимального элемента не менее 1,5 мкм;

-разрешающую способность объектива не более 0,6-0,7 мкм;

-погрешность совмещения ± 0,1 мкм;

-невоспроизводимость ширины линий периодической структуры не более ± 0,1 мкм;

-автоматическую фокусировку и выравнивание пластин;

-максимальный размер квадрата изображения 16x16 мм.

Возможные неисправности.

Таблица. Возможные неисправности и способы их устранения

.№ Отказавший блок,узел Вид отказа Способ устранения отказа
Стойка управления не включается . Вышел из строя один из источников питания. Вышла из строя платы защиты и контроля. Заблокировать защиту тумблером на задней панели. Включить стойку, определить неисправный источник и заменить его. Устранить неисправность платы.
Сообщения на экране дисплея: “Сбой ЛГН”, “Малая опорная частота лазераДЛП”, “Большая опорная частота лазера ДЛП”.Во время базирования каретки или выполнения “Автоподстройки ЛГН” возникает и не пропадает. Не работает лазер ЛГН-212Т из состава координатной системы. Заменить лазер ЛГН-212Т.Используя метки на мишенях, установленных при юстировке координатной системы и соответствующие дополнительные приспособления (четверть волновые пластины, диафрагмы на интерферометр),с помощью угловых подвижек лазера и координатных подвижек направляющих зеркал восстановить для нового лазера картину расположения падающего и отраженного лучей.
В время работы появилась диагностика системы совмещения ,предупреждающая о малом сигнале одного из каналов датчика совмещения. Лазерное излучение отсутствует, малой мощности или нестабильно Не работает один из лазеров датчика совмещения. Заменить соответствующий лазер. Установить на рабочую позицию блока ПШ оригинал промежуточный ДСЮ в оправе таким образом, чтобы репера совмещения попали в номинальное положение. Используя программное обеспечения, с помощью системы САИ контролировать разворот ПФО относительно КС и устранить его.задав соответствующее задание приводу поворота ПФО.

Наладка.

-проверить работу лампы ДРКС-1000М и заменить лампу по истечении 500 часов работы;

-проверить работоспособность электронных систем установки введение тестовых программ группы Аи В;

-проверить герметичность пневматической системы, вакуумной и гидравлической систем.

 

 

Контрольные задания и вопросы:

1.Опишите систему, применяемую для удержания заданной дозы экспонирования.

2.Назовите разрешающую способность установки ЭМ-584А.

3.Каким образом происходит запуск лампы ДРКС-1000М?

4.Объясните принцип работы линейного шагового двигателя.

5.Может ли работать ЛШД без подачи сжатого воздуха, вакуума?

6.Какой физический дефект устраняет конденсор?

7.Опишите физический эффект, лежащий в основе работы координатной системы.

Желаем успеха

Глава 12

 








Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском по сайту:



©2015 - 2024 stydopedia.ru Все материалы защищены законодательством РФ.