В ручном режиме регистрации измеряем УЭС образцов кремния четырехзондовым методом.

2.1. После выбора режима УЭС необходимо выбирать тип используемой четырехзондовой головки (J или С) в зондовом устройстве (манипуляторе). J – головка типа SRM232 c межзондовым расстоянием 1,59 мм. С – головка типа С2080.I с межзондовым расстоянием 1,3 мм и тип электропроводности образца (p или n) для определения температурной поправки при приведении результата измерений к 23 °С.

2.2. Выбор осуществляется совмещением курсора с соответствующем окном на дисплее и нажатием левой кнопки мыши. При этом окно выбранной головки или типа электропроводности окрашивается черным цветом.

2.3. Выбор диапазона рабочего тока измерительный блок выбирает автоматически. В нижней части дисплея выведено окно индикатора выбранного тока. Величина тока индицируется в абсолютной величине (например, 25мА). Рядом находится индикатор, по которому можно определить, что измерения выполнены правильно. Если во время измерения измеряемая величина не выходит за диапазон корректной работы установки, то измерения выполняются, и индицируется надпись «ОК!». При отсутствии надписи «ОК!» результаты измерений могут быть некорректными и измерительный блок установки, как правило, индицирует предельное значение измеряемой величины.

2.4. При неустановленной на образец четырехзондовой головке, измерительный блок установки индицирует максимальную (или минимальную, зависит от конкретной модификации зондового устройства) величину удельного электрического сопротивления.

2.5. После установки четырехзондовой головки на образец правильные показания устанавливаются не сразу, а появляются через 1-2 секунды. То, что индицируется правильный результат измерений, можно определить по стабильности измеренной величины. При этом индикатор выбранного диапазона измерительного тока должен показывать надпись «ОК!». В общем случае, критерием корректности измерений служит стабильность отображения результатов. Нестабильность результатов измерений свидетельствует о плохом контакте зондов с образцом, о загрязнении поверхности образца или зондов. Для обеспечения хорошего контакта, поверхность образца должна быть плоской. Неровности образца приводят к увеличению погрешности измерений или к ухудшению стабильности результатов измерений. В этих случаях, если образец и зонды не загрязнены, необходимо поднять манипулятор с четырехзондовой головкой с образца и опустить ее до контакта с образцом повторно.

2.6. При проведении повторного измерения поднимите манипулятор четырехзондовой головки с образца, дождитесь, чтобы измерительный блок показал на дисплее максимальное (минимальное) число и опустите манипулятор с четырехзондовой головкой до контакта с образцом. Соблюдение этого порядка уменьшает время установления правильных показаний на индикаторе измерительного блока установки.

2.7. Провести измерения на обоих торцах слитка монокристаллического кремния в шести фиксированных точках по диаметру слитка, в двух взаимно перпендикулярных направлениях расположенных в соответствии с рис.6 (при проведении измерений расстояние между краем образца и ближайшим к нему зондом должно быть менее 5 мм).

2.8. Значения полученных измерений занести в таблицу 3.

По результатам измерений удельного электрического сопротивления на двух торцах слитка вычислить:

Среднее значение удельного сопротивления на периферийном кольце торца:

(6)