Порядок функционирования системы совмещения.

Источник света 23, который через конденсоры 24, зеркало 25, волокнооптические световоды 26, светофильтры 27 и зеркала 28 направляет два луча на линзы 29, а через них на маски 30.Маски выполнены на верхних торцах светоделительных кубиков 31, закреплённых на измерительном шаблоне. Объектив 33 проецирует изображение реперных знаков масок З0 на поверхности подложки 37, перемещающийся на индукторе 36 относительно статора 35 ЛШД. Отразившиеся от подложки лучи, в обратном направлении образуют в фокальной плоскости объектива т.е. в плоскости масок 30 автоколлимационное изображение их реперных знаков. Формирующие это изображение лучи отклоняются полупрозрачными гранями кубиков 31 на линзы 41 установленных на кубиках. Эти линзы строят уменьшенное изображение зрачка объектива 33 в плоскости фотоприёмников 18 датчика совмещения 39.

Реперные знаки масок 30 выполнены в виде набора нерегулярно расположенных щелей в маскирующем покрытии, их изображение на подложке выглядит в виде светящихся полос. Реперные знаки подложки 37 аналогичны по форме и размерам знакам масок.

Отличие их состоит в том, что они выполнены в виде полос, рассеивающих падающее от них излучение. Расстояние между штрихами реперных знаков на маске и подложке выбрано таким, что при любом их взаимном положении, кроме одного точного, одновременно совпадают не более одного штриха. При точном совмещении происходит полное совпадение всех штрихов на подложке и маске. Поскольку знаки на подложке рассеивают излучение, момент совмещения знаков соответствует минимуму светового потока, попадающему через объектив 33 в фотоприёмники 40. По сигналам фотоприемников координатная измерительная система производит отсчёт координаты знака на подложке. После точной ориентации подложки и отсчёта координат её реперных знаков измерительный шаблон заменяется ПФО. Для этого каретка 10 с закреплённым на ней ПФО 38 и измерительным шаблоном смещается на шариковых направляющих вдоль оси У с помощью привода перемещения каретки 21,который включает в себя электродвигатель 1, кривошип 22 и тяги 20. Крайние положения каретки задаются упорами, для точной ориентации измерительного шаблона и ПФО используются знаки базирования 32, положение которых контролируется датчиками базирования 16.

Рис.11.11 Блок совмещения.

Рис.11.12Функциональная схема совмещения.

Система автофокусировки.

Необходимость применения такой системы и требования к ней определяются оптическими свойствами объективов.

Глубина резкости ∆Z высокоразрешающих проекционных объективов определяется длинной волны ультрафиолетового излучения λи числовой апертуройобъектива А

∆Z= λ/2А² (11.1)

Для типовых значений λ =0,436 мкм и А=0,25-0,28 ,глубина резкости составляет ∆Z=2,8-3,5 мкм. Не плоскостность пластин, особенно прошедших высоко температурную обработку, значительно превышает эти значения. В связи с этим на каждом шаге мультипликации производится точное размещение экспонируемой зоны подложки в пределах глубины резкости объектива.

Примечание.

Апертура(отверстие) лат.-действующее отверстие оптической системы, определяемое размерами линз или диафрагм:

-угловая апертура-угол α между крайними лучами конического светового пучка, входящего в оптическую систему,

-числовая апертура А равна n sin α/2, где n-показатель преломления среды, в которой находится предмет,

-освещённость изображения пропорциональна квадрату числовой апертуры,

-разрешающая способность прибора (min расстояние между 2-мя близлежащими точками, при котором они всё ещё видны отдельно) пропорциональна апертуре.

В установке ЭМ-584 А используется оптический датчик фокусировки.

Система автфокусировки (Рис.11.13)

Рис. 11.13Схема системы фокусировки

1,10-зеркало,2,4,5,12-линза, 3,9-зеркало полупрозрачное ,6-клин ,7-лимб,8-блок склеенный ,11-растр ,13-светофильтр интерференционный,14-пластина,15-фотоприемник,16-лазер гелио- неоновый

Назначение.

Система автофокусировки предназначена для:

-осуществления перемещения статора координатного стола в вертикальном направлении на величину до 300 мкм с дискретностью 1мкм;

-поиска и определения такого положения стола с установленной на него пластиной, которое соответствует плоскости наиболее резкого изображения рисунка ПФО на пластине;

-удержания полупроводниковой пластины в плоскости фокусировки. Элементы системы:

ЭВМ-задает режим работы микропрограммному устройству(МПУ) по управлению приводом фокусировки; -задаёт команду на перемещение; принимает и анализирует признаки окончания перемещения и наличия фокусировки "Сфокусировано".

МПУ:

-реализует микропрограмму управления приводом фокусировки.

-преобразует сигналы датчика положения в 4-ёх разрядный двоичный код.-запоминает этот код в регистре текущей координаты для считывания в МПУ.

Ячейка датчика фокусировки( ДФ) - преобразует сигналы датчика фокусировки в 12-разрядный двоичный код. Запоминает этот код в регистре расфокусирвки-коммутирует один из сигналов ДФ на вход АЦП.

Ячейка АЦП-10-преобразует аналоговый сигнал датчика фокусировки в цифровой 10-разрядный код.

Ячейка модуля вертикальных перемещений (МВП)-запоминает код ошибки по положению. Формирует управляющий сигнал для привода фокусировки.

Усилитель мощности с положительной связью по току(МПТ) коммутирует токи в якорной обмотке электродвигателя.

Редуктор-осуществляет перемещения статорной плиты вместе с индуктором и закреплённой на нём полупроводниковой пластиной в вертикальном направлении.

Рис.11.14Функциональная схема фокусировки.

а)сфокусировано,б)расфокусировано

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском по сайту: