Наладка и эксплуатация оборудования литографических процессов

Введение

Автоматическая линия «Лада-125»

Лада:

1) ГМО

2) ИНФО

3) НФ

4) Инфо

Назначение:

Предназначена для формирования рельефа в слое фоторезиста на пп пластинах диметром 76-100-125 мм.

Линия состоит из 3-х отдельных автоматических установок :

1) Автомат гидро-механической очистки и сушки;

2) Нанесение и сушка слоя фоторезиста;

3) Автомат проявления и задубливания фоторезиста;

4) Каждый из автоматов, включает в себя два параллельно работающих трека. Трек – часть автомата, выполняющая полный цикл обработки пластин;

Автомат включает в себя унифицированные блоки и отличается только применением узла, определяющего их технологическую принадлежность.

Блоки управления одинаковы для любого из трех автоматов и отличаются только сменной панелью управления. Автоматы присоединены к вытяжной вентиляции.

Каждый из 2-х треков включает в себя блоки:

1) Блок загрузки и разгрузки. Обеспечивает подачу пластин и состоит:

А) Подающая платформа для фиксации подающей кассеты

Б) Датчик загрузки, который фиксирует выгрузку пластины из подающей кассеты

В) Механизм перемещения. Для переноса пластин на каретку.

Г) Каретка для переноса пластины на столик центрифуги

Д) Датчик каретки. Фиксирует наличие пластины на каретке

Е) Толкатель. Для установки и снятия пластины со столика центрифуги

Ж) Отсекатель. Для задержания пластин на столике центрифуги.

З) Ограничитель. Для ограничения движения каретки

И) Механизм перемещения. Для переноса пластины на конвейерную ленту ИК сушки

К) Механизм перемещения. Для переноса пластины в приёмную кассету

Л) Датчик разгрузки. Фиксирует загрузки пластины в приёмную кассету

М) Приёмная платформа. Для фиксации приёмной кассеты

2) Блок управления. Предназначен для формирования и хранения программ управления, а также для связи с исполнительным элементом. В блоке управления предусмотрена индикация.

А) Электронный блок

Б) Панель управления

В) Пульт оперативного управления

3) Блок тех. обработки. Блок предназначен для фиксирования пластин в зоне обработки:

А) Крышка ловушки

Б) Вытяжной коллектор

В) Ловушка продуктов обработки

Г) Форсунка для подачи пара

Д) Форсунка для подачи деонизованной воды

Е) Капельница-дозатор для подачи фоторезиста

Ж) Форсунка для подачи проявителя

4) Установка ИК-сушки

5) Блок питания

6) Доп. Блок

7) Блок обеспыливания

Лада – 150

Схема автомата АНФ

1) Пункт управления

2) Агрегат микролитографии

3) Пост выгрузки пластин

4) Пост гидромеханической отмывки и струёй высокого давления

5) Горячая плита для термообработки (9)

6) Пост нанесения фоторезиста методом центрифугирования

7) Горячая плита для сушки

8) Пост загрузки пластин

Автомат предназначен для получения топологии с микронными и субмикронными размерами элемента (СБИС) на гладких и рельефных поверхностях пластин диаметром до 150 мм.

Основные энергоносители:

1) Электропитание 380/220 ±10% с частотой 50Гц ±2,5%

2) Азот газообразный под давлением 3 Атм. С расходом не менее 1 л/с

3) Вода дионизованная под давлением 2 атм. И с расходом не менее 0,014 л/с.

4) Вакуум. Сеть с давлением не более 350 мм. рт. ст.

5) Воздух сжатый под давлением от 3-4 атм.

6) Вытяжная система с расходом воздуха 0,138 м³/с.

7) Слив

Основные технические характеристики автомата:

1) Производительность автомата при выполнении всех технологических операций в течение 45 секунд не менее 60 пластин в час

2) Диапазон задания угловой скорости центрифуги от 300-6500 ±5 об/мин. С точностью поддержания вращения ±1%.

3) Дискретность задания угловой центрифуги 50 об/мин.

4) Время выхода модуля термообработки не более 30 мин.

5) Неравномерность температуры в пределах от 50 до 200 градусов цельсия не боле 3%

6) Диапазон регулирования струи высокого давления

7) Дозирование фоторезиста от 500 до 5000 мм³

8) Угловая скорость вращения щётки от 100 ±10 об/мин.

Устройство автомата (АНФ):

…

Операции основаны на следующих методах:

1) Гидромеханическая отмывка щёткой, затем струёй высокого давления

2) Термообработка на горячих плитах

3) Термостабилизация на холодных плитах

4) Нанесение слоя фоторезиста центрифугированием

5) Проявление происходит с помощью распыления или полива

Работа автомата:

1) Оператор устанавливает кассету с пластинами, что является сигналом начала работы

2) Механизм загрузки начинает поиск пластины, выдаёт на приёмный столик и на механизм перемещения

3) Столик перемещает пластину вверх в зону действия транспортного механизма

4) Транспортный механизм перемещает на первый модуль. Начинается цикл обработки пластины. В то время, как пластина обрабатывается на модуле механизм загрузки производит поиск очередной пластины и выдаёт её на приёмный столик, которым она поднимается к механизму подачи.

5) Таким образом за время обработки пластин на модулях в зоне действия транспортного механизма всегда оказывается следующая пластина

6) Программа работы автомата составлена таким образом, что если все модули находятся в исходном состоянии транспортный механизм производит перенос пластин с позиции на позицию

За цикл 6 пластин. Если во время работы пластина исчезла (разбита или снята) информация об этом отображается на экране дисплея, автомат прекращает работу и только после ввода оператором продолжать работу - автомат работает. После обработки 25 пластин на экране дисплея отображается информация о том, что кассета пуста

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском по сайту: