ЭКЗАМЕНАЦИОННЫЕ МАТЕРИАЛЫ

по дисциплине "Наладка и эксплуатация оборудования для литографических процессов".

Специальность: 2-53 01 32 Автоматизация технологических процессов и производств.

1. Перечислите перспективные методы литографии и причины необходимости освоения данных перспективных методов.

2. Опишите назначение, принцип действия устройство и порядок работы ЭЛИ ( электронно-лучевого излучателя) с изображением схемы ЭЛИ.

3. Чем обусловлена большая разрешающая способность электронно-лучевой и рентгеновской литографии по сравнению с фотолитографией?

4. Какие источники излучения применяют в рентгенографии?

5. Опишите назначение ,принцип действия, устройство и порядок работы установки электронно-лучевой графики с ЭОС для формирования электронного пучка круглого сечения.

6. Опишите принцип действия устройство и порядок работы с изображением схемы установки рентгенолитографии с неподвижным анодом.

7. Опишите принцип действия устройство и порядок работы ионного источника (источника типа Кауфмана) с изображением схемы.

8. Опишите принцип действия устройство и порядок работы установки ионнографии с зондовым ионным пучком ,с изображением схемы.

9. Опишите принцип действия устройство и порядок работы установки ионнографии с проекционной системой с шаговым экспонированием.'

10. Какие модули входят в линию "Лада-150" ?

11. Какие режимы используются в автомате "Лада-150" ?Опишите назначение каждого режима.

12. Каковы конструктивные особенности линии "Лада-150" в сравнении с линией "Лада-125" ?

13. Назовите конструктивные унифицированные и индивидуальные элементы АПФ линии "Лада-125".

14. Какова конструкция и принцип действия установки ИКТО (инфракрасной конвейерной термообработки) линии "Лада -125" ?

15. Опишите функциональную схему линии "Лада-125" с описанием назначения составных частей линии.

16. Опишите одну из разновидностей проекционной фотолитографии - голографию и главную конструктивную особенность оборудования проекционной голографической фотолитографии.

17. Опишите назначение устройство и порядок работы форсунок, применяемых при струйной очистке пластин с изображением схемы форсунки.

18. Опишите назначение, устройство и порядок эксплуатации установки химической обработки пластин с изображением схемы установки, особо остановиться на работе насосов перекачки.

19. Опишите назначение, устройство, принцип действия и порядок эксплуатации оборудования плазмохимического травления с автономным ионным источником с рассмотрением процесса образования плазмы.

20. Опишите устройство осветителя оборудования фотопечати (ЭМ-576, ЭМ-584, ЭМ- 562) с изображением схемы и рассмотрением назначения каждого узла (детали) осветителя.

21. Опишите принцип действия трехэлектродной системы ионного травления.

22. Какой принцип действия лежит в основе работы ЛШД? Опишите устройство ЛШД. Каким образом осуществляется перемещение индуктора ЛШД по координатам Х,У?

23. Опишите назначение, принцип действия, устройство и порядок работы редукционной камеры.

24. Чем определяется необходимость применения системы автофокусировки?

25. Опишите устройство оптического датчика системы автофокусировки.

26. Какой из механизмов выравнивания поверхности подложки и фотошаблона в установках контактной фотопечати ЭМ-576 более совершенен? Опишите устройство механизма выравнивания поверхности подложки и фотошаблона с применением калибратора. Ответьте - для чего применяется калибратора.

27. Проанализируйте и изложите отличительные конструктивные особенности датчиков используемых в фотоповторителе ЭМ-562.0пишите назначение,принцип действия, устройство датчиков линейных перемещений (ДЛП).

28. Какими параметрами определяется глубина резкости проекционного объектива? Какова зависимость глубины резкости объектива от данных параметров?

29. На какую величину переместится индуктор при переключении коммутационного сигнала из одной обмотки в другую ЛШД? Основой чего является ЛШД? В какую систему входит координатный стол?

30. С какой целью применяется в оптической системе осветителя растры? Опишите устройство растров в блоке экспонирования установок фотопечати.

31. Опишите назначение позиции в приводе подъем (опускание) координатного стола установки ЭМ-584 А. На какой привод поступает коммутирующий сигнал от системы автофокусировки?

32. Провести сравнительный анализ конструкции линейного шагового двигателя установки монтажа кристалла в корпус ЭМ-4085А с ЛШД ЭМ-584. Изобразите схему этапов работы ЛШД.

33. С какой целью применяется в оптической системе осветителя конденсор? Опишите устройство и принцип действия блока экспонирования установок фотопечати.

34. Проанализируйте кинематическую схему установки гидромеханической отмывки с выделением блоков, непосредственно влияющих на качество очистки пластин. Опишите назначение, принцип действия, устройство и порядок работы автомата гидромеханической отмывки с очисткой вращающейся щеткой.

35. Опишите назначение, устройство, принцип действия и порядок эксплуатации установки размножения эталонных фотошаблонов. Изобразить схему установки с обозначением позиций.

36. Опишите назначение координатно-измерительной системы установки проекционного экспонирования ЭМ-584. Опишите устройство и принцип действия КИСы.

37. Разработать алгоритм поиска причины отсутствия переноса изображения на пластину, используя знания устройства блока освещения установки совмещения и экспонирования ЭМ-576.

38. Разработать алгоритм поиска причин неисправности а работе ЛШД по дефекту “отсутствие перемещения” и изложите методы их устранения.

39. Назовите метод переноса рисунка ПФО, используемый в установках проекционного совмещения и экспонирования ЭМ-584А. Опишите устройство установки ЭМ-584А по блочной схеме.

40. Используя схему генерации изображения опишите последовательность ,виды оборудования получения фотошаблонов для контактной фотопечати.

41. Опишите назначение фотоповторителя, устройство и порядок работы датчика базы заготовки эталонного фотошаблона.

42. Опишите устройство и порядок работы датчика базирования ПФО в фотоповторителе.

43. Опишите устройство и порядок работы установки отмывки и сушки. Интенсификация процессов отмывок вибрационной обработкой, стержневые и плоские магнитострикционные излучатели.

44. Опишите назначение, устройство и порядок работы системы совмещения установки ЭМ-584.

45. Опишите назначение устройство и порядок работы системы автофокусировки установки ЭМ-584А.

46. Как устроен датчик линейного перемещения? Изобразите схему ДЛП, принцип действия датчика, объясните как образуется муаровая картинка.

47. Опишите устройство счета муаровых полос, изобразите структурную схему устройства счета полос, обозначьте позиции и опишите порядок работы.

48. Какие функции выполняет управляющая программа ЭМ-584А в основном рабочем цикле?

49. В каких автоматических режимах работает установка ЭМ-584А? Кратко опишите работу установки в этих режимах.

50. Перечислите команды формирования и выполнения задания управляющей программы ЭМ-584А.

51. Перечислите команды специального режима управления программы ЭМ-584А.

52. Перечислите варианты совмещения, которые можно использовать при измерении положения реперных знаков.

53. Объясните методику измерения температуры в зонах с помощью регулятора температуры БПРТ-1.

54. Какие узлы входят в состав блока управления автомата ГМО?

55. Какие платы входят в состав блока электронного ГМО?

56. Изобразите структурную схему блока электронного автомата ГМО и обозначьте позиции.

57. Опишите назначение, принцип действия агрегата ик. термообработки с изображением его схемы, обозначьте позиции.

58. Изобразите колпаковочную схему ЭМ-576 с обозначением позиций и объяснением назначения каждой позиции схемы.

59. Изобразите блочную схему установки ЭМ-576 с обозначением позиций и объяснением назначения каждой позиции схемы.

60. Опишите назначение, принцип действия устройство с изображением пневмогидравлической схемы установки ЩИМ 3.240.212 химической обработки пластин.

61. Опишите назначение, принцип действия устройство с изображением пневмогидравлической схемы установки ЩИМ 3.240.213 отмывки и сушки.

Преподаватель КамлюкВ.С.

Рассмотрено на заседании цикловой комиссии специальностей «Автоматизация технологических процессов и производств » «Мехатроники » «Микроэлектроники »

Протокол №_______________ от «____»_____________20___г.

Председатель _________________ Е.И.Тарасова

Не нашли, что искали? Воспользуйтесь поиском по сайту: